侧蚀是什么，怎么影响精度

侧蚀量通常按「深度 × 系数」估算，系数与材料、药水、喷淋方式有关，不锈钢深蚀的系数大致在 0.8–1.2 之间。

设计时把线宽补偿进去，或改用更厚的掩膜、更短的蚀刻时间，都能减小侧蚀带来的尺寸偏差。

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说明：以上为常规工艺与流程参考，具体以图纸评审、打样确认为准。